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发明名称 ION BEAM MILLING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0941165(A) 申请公布日期 1997.02.10
申请号 JP19950190699 申请日期 1995.07.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUJISHIRO MASAHARU;OISHI SEITARO;ISHIZAKI HIROSHI;TOGAWA EISEI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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