| 发明名称 |
PRODUCTION OF OXIDE ETCHING PRODUCT AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0941158(A) |
申请公布日期 |
1997.02.10 |
| 申请号 |
JP19950195398 |
申请日期 |
1995.07.31 |
| 申请人 |
ASAHI DENKA KOGYO KK |
发明人 |
YAJIMA AKIMASA;ISHIZUKA YOSHITSUGU;TANAKA MASATOSHI;KUBOTA YOSHIKATSU |
| 分类号 |
C23F1/00;C03C15/00;C23F1/08;C23F1/30;G01N27/07;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
