| 发明名称 |
Improvements in or relating to apparatus for depositing thin films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1132867(A) |
申请公布日期 |
1968.11.06 |
| 申请号 |
GB19660012033 |
申请日期 |
1966.03.18 |
| 申请人 |
CONSOLIDATED VACUUM CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
C08G18/48;C08G18/66;C08G18/76;C23C14/28;C23C14/35;H01J37/34 |
主分类号 |
C08G18/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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