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发明名称
摘要
申请公布号 NL6806096(A) 申请公布日期 1968.11.04
申请号 NL19680006096 申请日期 1968.04.29
申请人 发明人
分类号 C23C14/22;C30B23/08;H01L21/00;H01L21/203;(IPC1-7):H01L7/54;B01J/;C23C/ 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
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