发明名称 OPTICAL MEMBER INSPECTING DEVICE AND INSPECTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0933388(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950208398 申请日期 1995.07.24
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 NAKAYAMA TOSHIHIRO;HARA MASATO;SUGIURA MASAYUKI;KIDA ATSUSHI
分类号 G01N21/88;G01M11/00;G01N21/93;G01N21/958;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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