发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0936377(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950207880 申请日期 1995.07.21
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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