发明名称 MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0936366(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950209019 申请日期 1995.07.25
申请人 SONY CORP 发明人 EZAKI TAKAYUKI
分类号 H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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