发明名称 CRYSTAL GROWTH METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0936051(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950201400 申请日期 1995.07.14
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 IRITONO TAKUMI;HIUGA FUMIAKI
分类号 H01L29/872;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
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