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发明名称 IONIZER
摘要
申请公布号 JPH0936009(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950205118 申请日期 1995.07.20
申请人 SHINKO ELECTRIC CO LTD 发明人 ONISHI HISASHI
分类号 H01J37/20;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01T23/00;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/306 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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