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经营范围
发明名称
ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0935649(A)
申请公布日期
1997.02.07
申请号
JP19950181740
申请日期
1995.07.18
申请人
KOBE STEEL LTD
发明人
MUNEMASA ATSUSHI;KUMAKIRI TADASHI;AKARI KOUICHIROU;INUISHI NORIYUKI
分类号
H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/08
主分类号
H01J27/08
代理机构
代理人
主权项
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