发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0935649(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950181740 申请日期 1995.07.18
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 MUNEMASA ATSUSHI;KUMAKIRI TADASHI;AKARI KOUICHIROU;INUISHI NORIYUKI
分类号 H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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