发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0936106(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19960221180 申请日期 1996.08.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIBATA FUMIO;NAGATOMO KATSUAKI;FUKUHARA HIDETOMO;MARUMOTO MAKOTO;OKUDAIRA SADAYUKI
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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