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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0936067(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950185630 申请日期 1995.07.21
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 TAKEUCHI MAKOTO
分类号 H01L21/205;H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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