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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0936129(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950182733 申请日期 1995.07.19
申请人 HITACHI DENSHI LTD 发明人 KONUMA TORU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/822 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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