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发明名称 FABRICATION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0936494(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950206806 申请日期 1995.07.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJII TAKUYA
分类号 H01L21/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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