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发明名称 INTERFEROMETER APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0933228(A) 申请公布日期 1997.02.07
申请号 JP19950185935 申请日期 1995.07.21
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 YAMAZAKI KAZUHIDE
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01M11/00;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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