OPTICAL STRUCTURE AND METHOD FOR ITS PRODUCTION

摘要

Eine optische Struktur, die als Lichtleiter oder Kavität geeignet ist, umfasst einen Träger (1) mit einer Gitterstruktur (2) mit einer photonischen Bandlücke und einem Defektbereich (5). Die Gitterstruktur (2) umfasst in einem periodischen Raster angeordnete Poren (4), die eine Einschnürung aufweisen. Das periodische Raster ist dabei im Defektbereich gestört. Die optische Struktur ist durch elektrochemisches Ätzen von Silizium herstellbar.