发明名称 Informationsträger und Anlage zur Schichtherstellung
摘要
申请公布号 DE29614938(U1) 申请公布日期 1997.02.06
申请号 DE1996214938U 申请日期 1996.08.28
申请人 BALZERS PROZESS SYSTEME VERTRIEBS- UND SERVICE GMBH, 81245 MUENCHEN, DE 发明人
分类号 C23C14/00;C23C14/06;G11B7/24;G11B7/253;G11B7/2534;G11B7/254;G11B7/257;G11B7/2578;G11B7/258;G11B7/2585;G11B7/26;G11B11/105;(IPC1-7):G11B7/24 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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