| 摘要 |
<p>In Verbindung mit einer Vorrichtung zum Positionieren und Fixieren von Körpern mittels einer Mehrzahl von auf einer Bezugsebene verschiebbaren Elementen, wird vorgeschlagen, die Bezugsebene durch den Stator eines planaren, luftgelagerten Hybridschrittmotors zu verifizieren, und eine Mehrzahl von auf der Bezugsebene unabhängig voneinander programmgesteuert verfahrbaren und hochgenau positionierbaren luftgelagerten Läufern vorzusehen, die gegebenenfalls manuell oder selbsttätig auswechselbare Elemente zum Positionieren und Fixieren tragen.</p> |
