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发明名称 Transportvorrichtung für Substrate
摘要
申请公布号 DE68927146(T2) 申请公布日期 1997.02.06
申请号 DE19896027146T 申请日期 1989.09.29
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUI, SHIN, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KARIYA, TAKAO, HINO-SHI TOKYO, JP;MIZUSAWA, NOBUTOSHI, YAMATO-SHI KANAGAWA-KEN, JP;EBINUMA, RYUICHI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;UZAWA, SHUNICHI, TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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