发明名称 Oberflächen-Einebnungs-Verfahren
摘要
申请公布号 DE69212295(T2) 申请公布日期 1997.02.06
申请号 DE19926012295T 申请日期 1992.12.22
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 MOSLEHI, MEHRDAD M., DALLAS, TEXAS 75248, US
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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