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发明名称
Oberflächen-Einebnungs-Verfahren
摘要
申请公布号
DE69212295(T2)
申请公布日期
1997.02.06
申请号
DE19926012295T
申请日期
1992.12.22
申请人
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US
发明人
MOSLEHI, MEHRDAD M., DALLAS, TEXAS 75248, US
分类号
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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