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发明名称 SOI-Scheibe für BICMOS mit dünnen und dicken SOI-Siliziumgebieten
摘要
申请公布号 DE69303764(T2) 申请公布日期 1997.02.06
申请号 DE1993603764T 申请日期 1993.04.22
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BUTI, TAQI NASSER, MILLBROOK, NEW YORK 12545, US;HSU, LOUIS LU-CHEN, FISHKILL, NEW YORK 12524, US;JOST, MARK EDWIN, FISHKILL, NEW YORK 12524, US;OGURA SEIKI NMN, OGURA SEIKI NMN, NEW YORK 12533, US;SCHULZ, RONALD NORMAN, SALT POINT, NEW YORK 12578, US
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/12;H01L29/732;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/304 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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