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发明名称 Verfahren zum Strukturieren mehrlagiger Dünnschichten mit einer supraleitenden Lage
摘要
申请公布号 DE69216138(D1) 申请公布日期 1997.02.06
申请号 DE1992616138 申请日期 1992.04.09
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 INADA, HIROSHI, F-75116 PARIS, FR;IIYAMA, MICHITOMO, F-75116 PARIS, FR
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
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