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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von atomarem Wasserstoff in einem Mikroelektronik-Fertigungsreaktor
摘要
申请公布号 DE19534742(C1) 申请公布日期 1997.02.06
申请号 DE19951034742 申请日期 1995.09.19
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 RUHL, GUENTHER, DIPL.-CHEM. DR.RER.NAT., 80939 MUENCHEN, DE;SCHROECKE, VOLKER, DIPL.-ING., 82288 KOTTGEISERING, DE
分类号 G01N21/21;G01N27/12;G01N31/22;(IPC1-7):G01N31/22;G01N21/77;G01N27/416 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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