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发明名称
Verfahren zur Beschichtung eines Substrats in einem Wirbelbett
摘要
申请公布号
DE69216196(D1)
申请公布日期
1997.02.06
申请号
DE1992616196
申请日期
1992.04.20
申请人
SRI INTERNATIONAL, MENLO PARK, CALIF., US
发明人
SANJURJO, ANGEL, SAN JOSE, CA 95132, US;WOOD, BERNARD, J., SANTA CLARA, CA 95051, US
分类号
B22F1/02;C01B31/04;C03C17/245;C23C16/44;C23C16/442;(IPC1-7):C04B35/00
主分类号
B22F1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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