高分辨率容栅位移传感器

摘要

本实用新型涉及一种改进的容栅位移传感器，用以提高传感器的分辨率，使测量位移量精确。由滑尺和定尺相互靠近、并相对移动配置而成。滑尺上的发送电极由多个连续方脉冲波形状的导电极构成，上、下排列有序；定尺上的传送电极为连续横向排列的矩形，还包括接受电极，构成与滑尺间形成电容耦合。采用本实用新型的结构，可简化工艺，无需孔化；且可将电极的节距缩小10倍，使T由原来的5.08mm减少到0.508mm，从而使分辨率提高到0.001mm。

主权项

1.一种高分辨率容栅位移传感器，由滑尺和定尺相互靠近、并相 对移动配置构成，所述的滑尺上包括发送电极和接受电极，所述的定 尺上包括传送电极和接地电极，其特征在于： 所述的滑尺上的发送电极为在水平位移方向上设置的节距为T 的八条发送电极，每条发送电极由多个连续方脉冲波形状的导电极 构成，呈上、下有序排列，相邻两个电极间在几何位置上互相错开相位差为所述的滑尺上的接受电极为带状的导电极； 所述的定尺上的传送电极为在水平位移方向上设置的节距为T 的一系列横向连续排列的矩形电极，每两个传送电极之间互相绝缘 隔开； 所述的定尺上还包括接受电极，由设置在传送电极上、下两端的 /上端的/下端的节距为的一系列竖条形导电极构成；每两个接受 电极之间用同一节距的接地极隔开；所述的定尺上的传送电极与接受电极之间包括一联接导线。