发明名称 Semiconductor device and method for forming contact hole therein
摘要
申请公布号 GB9626111(D0) 申请公布日期 1997.02.05
申请号 GB19960026111 申请日期 1996.12.16
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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