发明名称
摘要
申请公布号 JP2578385(B2) 申请公布日期 1997.02.05
申请号 JP19910020307 申请日期 1991.01.22
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO 发明人 OOMURA MASAKI;ISHII SHINJI
分类号 C30B15/02;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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