色差补偿的粒子束柱

摘要

一种粒子束柱，包括一诸如液态金属离子源之类的针型离子源(1)、一个或多个圆透镜(2)、以及多个交错的四极透镜(14、16)。另外，一种离子束柱，包括一液态合金离子源(1)、交错的四极透镜(14、16)以及一维恩速度滤器(22)。这种柱产生了比只以静电透镜为基础的柱更精细聚焦的束，并且可以增加透镜小孔和允许更大的束流。

主权项

1、一种粒子光学柱，包括一针型粒子源，一分离电极，一聚光透镜，一用来形成精细聚焦的粒子束的交错四极透镜系统，其中交错透镜在电场与磁场的临界比处进行工作，这样，交错透镜的负色差抵消了所有其他粒子光学部件的正色差，而焦点直径基本上与粒子能量中的小的变化无关。