发明名称
摘要
申请公布号 JP2524692(Y2) 申请公布日期 1997.02.05
申请号 JP19900094460U 申请日期 1990.09.07
申请人 发明人
分类号 B24B37/30;B24B37/32;H01L21/304;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B37/30
代理机构 代理人
主权项
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