发明名称 Screw vacuum pump
摘要
申请公布号 EP0523551(B1) 申请公布日期 1997.02.05
申请号 EP19920111698 申请日期 1992.07.09
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 SHIMIZU, NOBURU;YANAGISAWA, KIYOSHI
分类号 F04C23/00;F04C25/02;F04C29/12;(IPC1-7):F04C18/16;F04C29/08 主分类号 F04C23/00
代理机构 代理人
主权项
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