| 发明名称 |
TREATING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0931669(A) |
申请公布日期 |
1997.02.04 |
| 申请号 |
JP19950201325 |
申请日期 |
1995.07.14 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
YAMAKAWA SUMIYASU;HONGO AKIHISA;SHIBAZAKI MITSUNAO |
| 分类号 |
C23F1/08;C23F1/16;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/08 |
主分类号 |
C23F1/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
