发明名称 TURBO MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPH0932794(A) 申请公布日期 1997.02.04
申请号 JP19950186741 申请日期 1995.07.24
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 ASHIDA OSAMU
分类号 F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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