| 发明名称 |
THIN FILM FORMING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0931657(A) |
申请公布日期 |
1997.02.04 |
| 申请号 |
JP19950185126 |
申请日期 |
1995.07.21 |
| 申请人 |
KAO CORP |
发明人 |
IMAMURA HIDEKI;SHIGA AKIRA;MIZUNOYA HIROHIDE |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511;G11B5/84;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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