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发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0930893(A) 申请公布日期 1997.02.04
申请号 JP19950336081 申请日期 1995.11.30
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD;HITACHI LTD 发明人 SUZUKI SHINPEI;KOMATSU NOBUHISA;SATO EIJI;KONDO TOMOMI;KASAHARA OSAMU;KUNITOMO MASATO
分类号 C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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