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发明名称 SINGLE-WAFER COATER
摘要
申请公布号 JPH0929149(A) 申请公布日期 1997.02.04
申请号 JP19950183689 申请日期 1995.07.20
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 TABEI TATSUYA;NAKAHARA HIROKIMI;IGARASHI KAZUAKI;HATORI SAKURAKO
分类号 B05C1/02;(IPC1-7):B05C1/02 主分类号 B05C1/02
代理机构 代理人
主权项
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