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发明名称 DEPOSITED FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0931659(A) 申请公布日期 1997.02.04
申请号 JP19950206600 申请日期 1995.07.20
申请人 CANON INC 发明人 TSUCHIDA NOBUFUMI
分类号 H05H1/46;C23C14/34;C23C16/50;C23C16/509;C23F4/00;G03G5/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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