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发明名称 PRODUCTION OF HIGHLY PURE SULFURIC ACID
摘要
申请公布号 JPH0930803(A) 申请公布日期 1997.02.04
申请号 JP19950187052 申请日期 1995.07.24
申请人 SUMITOMO CHEM CO LTD 发明人 MORIZAKI AKIRA
分类号 C01B17/74;C01B17/90;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):C01B17/90 主分类号 C01B17/74
代理机构 代理人
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