| 发明名称 |
MBE system and using semiconductor device fabricated using same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG35013(A1) |
申请公布日期 |
1997.02.01 |
| 申请号 |
SG19950001308 |
申请日期 |
1995.09.08 |
| 申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
TAMAMURA KOSHI;TSUKAMOTO HIRONORI;IKEDA MASAO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/20;H01S3/25 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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