发明名称 METHOD OF MAKING STABLE SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 US3426422(A) 申请公布日期 1969.02.11
申请号 USD3426422 申请日期 1965.10.23
申请人 FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORP. 发明人 BRUCE E. DEAL
分类号 C23F1/02;H01L21/316;H01L29/00;H01L29/78;(IPC1-7):B01J17/40;H01L7/00 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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