发明名称 Kollimator mit integrierter Reaktivgasverteilung für Kathodenzerstäubungsanlage
摘要
申请公布号 DE69401210(D1) 申请公布日期 1997.01.30
申请号 DE19946001210 申请日期 1994.05.11
申请人 MATERIALS RESEARCH CORP., ORANGEBURG, N.Y., US 发明人 BARADA, ANDREW, NEW CANAAN, CT 06840, US;HURWITT, STEVEN, D., PARK RIDGE, NJ 07656, US
分类号 C23C14/34;C23C14/00;C23C14/04;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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