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发明名称 Integrierter Schaltkreis mit CMOS-Schaltung und Verfahren zur Herstellung von isolierten, aktiven Bereichen einer CMOS-Schaltung
摘要
申请公布号 DE19526568(C1) 申请公布日期 1997.01.30
申请号 DE19951026568 申请日期 1995.07.20
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 KERBER, MARTIN, DR.RER.NAT., 81827 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/76;H01L21/765;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092;H01L21/823 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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