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发明名称 Rasterelektronenmikroskop
摘要
申请公布号 DE69123668(D1) 申请公布日期 1997.01.30
申请号 DE19916023668 申请日期 1991.09.04
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SATO, MITSUGU, KATSUTA-SHI, JP
分类号 H01J37/09;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
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