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发明名称
VACUUM FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0925560(A)
申请公布日期
1997.01.28
申请号
JP19950170855
申请日期
1995.07.06
申请人
TEIJIN LTD
发明人
KATAYAMA SHIGEO;HIKOSAKA TORU;TAMURA YUUJI
分类号
C23C14/02;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/02
主分类号
C23C14/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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