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经营范围
发明名称
SUBSTRATE TREATING DEVICE AND SUBSTRATE TREATMENT
摘要
申请公布号
JPH0925586(A)
申请公布日期
1997.01.28
申请号
JP19950174651
申请日期
1995.07.11
申请人
ANELVA CORP
发明人
IKEDA KEI
分类号
C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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