发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0925568(A) 申请公布日期 1997.01.28
申请号 JP19950195966 申请日期 1995.07.07
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 ARAI SUSUMU;MORI KATSUHIKO;SHIMIZU YASUO;OGATA HIDEYUKI;KIKUCHI MASASHI
分类号 C23C14/00;C23C14/34;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利