| 发明名称 |
ELECTRONIC MICROSCOPE AND SPECIMEN ANALYZING METHOD USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0927292(A) |
申请公布日期 |
1997.01.28 |
| 申请号 |
JP19950175903 |
申请日期 |
1995.07.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HOSOKI SHIGEYUKI;DOI TAKAHISA;HASEGAWA TAKESHI;KONO MAKIKO;TOMIMATSU SATOSHI |
| 分类号 |
G01N24/00;H01J37/20;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
G01N24/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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