| 发明名称 |
NONCONTACT THREE-DIMENSIONAL DISPLACEMENT DETECTION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0926316(A) |
申请公布日期 |
1997.01.28 |
| 申请号 |
JP19950198061 |
申请日期 |
1995.07.11 |
| 申请人 |
MITSUTOYO CORP |
发明人 |
TERAGUCHI MIKIYA;NISHIMURA KUNITOSHI |
| 分类号 |
G01B21/00;(IPC1-7):G01B21/00 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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