发明名称 |
WATER-BASED CLEANING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0924202(A) |
申请公布日期 |
1997.01.28 |
申请号 |
JP19950197110 |
申请日期 |
1995.07.11 |
申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SO KEISEN;SATO HIROAKI;TOKUNAGA KATSUHIKO |
分类号 |
B01D17/025;B01D17/04;B01D17/05;(IPC1-7):B01D17/05 |
主分类号 |
B01D17/025 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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