| 发明名称 |
EPITAXIAL COATED SEMICONDUCTOR WAFER AND ITS PREPARATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0925198(A) |
申请公布日期 |
1997.01.28 |
| 申请号 |
JP19960133575 |
申请日期 |
1996.05.28 |
| 申请人 |
WACKER JIRUTORONIKU G FUER HARUBURAITAAMATERIARIEN AG |
发明人 |
BUORUFUGANGU JIIBERUTO;AABUINNPEETAA MAIYAA |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B13/00;C30B33/00;C30B33/08;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/208;H01L21/322;H01L21/329;H01L29/47;H01L29/872;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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