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发明名称 ROTARY TYPE WASHING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH0927470(A) 申请公布日期 1997.01.28
申请号 JP19950196214 申请日期 1995.07.07
申请人 SONY CORP 发明人 IWAMOTO ISATO;SAKAI CHIAKI
分类号 B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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